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一、概述：             
       Innova 是美國布魯克公司(Bruker  AXS)所有掃描探針顯微鏡產品中性價比最高的一款產品，其閉環掃描的噪音水平接近一些高端開環掃描系統的水平，可廣泛應用于器件表征、物理、材料科學和生命科學領域。

      集成的符合人體力學的彩色光學系統和可編程馬達驅動的Z-樣品臺可快速簡便地尋找特征點以及更換針尖或樣品。 Innova  的掃描頭由三個獨立的馬達控制，可以方便地調整樣品和針尖的相對位置。另外，通過標配和選配模塊，Innova 可進行掃描探針顯微鏡全系列的測量模式，因而具有很強的靈活性和適用性。開放式的設計便于進行用戶化的實驗，如插入電極進行電化學和電學測試。

二、性能及指標：
閉環掃描管：XY > 90 μm，Z > 7.5 μm     

開環掃描管：XY > 5 μm, Z > 1.5 μm
樣品尺寸： X-50 mm x 50 Y-mm x Z-18 mm   

掃描長度：1-100μm
電動Z軸載物臺：   Z軸行程： 18mm
光學系統：

      攝像頭： 軸線彩色CCD，帶電動變焦
      視場： 1.24mm x0.25mm (電動變焦，10x物鏡)
      垂直分辨率：標準10x物鏡<2μm (50x物鏡<0.75μm)
電子電路：20位DAC控制器，100kHz、±10v ADCs，數字反饋器件

三、功能及用途：

     探針輕敲或接觸被測樣品，通過測定原子間相互作用力來表現樣品的表面形貌，進一步進行靜電力和磁力測試。